碳化硅合成過(guò)程是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，特別是在冶煉的中后期，是有液相和氣相參與的反應(yīng)。所以冶煉爐應(yīng)該要有良好的透氣性。如果爐體和爐料透氣性太差，爐內(nèi)會(huì)形成很高的正壓。這種壓力會(huì)大大降低爐內(nèi)反應(yīng)動(dòng)力，使反應(yīng)能力減小，反應(yīng)速度下降。從而影響冶煉爐的產(chǎn)量和產(chǎn)品的質(zhì)量。爐內(nèi)的正壓高，會(huì)使?fàn)t芯溫度不正常迅速升高，爐料的區(qū)間溫差梯度加大，會(huì)造成冶煉爐中間部位有分解溫度，外層無(wú)再結(jié)晶溫度，阻礙了反應(yīng)向正方向發(fā)展。當(dāng)爐內(nèi)壓力升到一定數(shù)值后，將會(huì)使碳化硅晶筒形成多硅結(jié)晶或富硅性熔體。
由于透氣不良造成的高壓高熱氣體不能順利轉(zhuǎn)移到低溫區(qū)，加快了爐芯部位碳化硅結(jié)晶的分解速度。由于大量分解，爐芯尺寸迅速擴(kuò)大，必然使?fàn)t芯電阻很快變小，導(dǎo)致冶煉送電電流很快上升。使供電變壓器的調(diào)壓檔位不夠使用。逼迫提前退出運(yùn)行，無(wú)法維持冶煉的正常進(jìn)行。減少了送電量，即影響產(chǎn)品的產(chǎn)量又影響產(chǎn)品的質(zhì)量。
